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[讨论] 附图:MEMS产品(传感器/执行器/结构件)商业化时间表

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发表于 2013-7-10 14:52:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
附图:MEMS产品(传感器/执行器/结构件)商业化时间表,包括压力传感器、加速度计、气体传感器、微阀门、微喷嘴、微显示器、生物/化学传感器、RF MEMS、速率传感器、微继电器、MEMS振荡器

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