求教:Sensor表面黑点问题

fengyun0

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我们在WB后发现芯片上有黑点，使用水洗无法清除，我们做EDX分析里面含有Fe

每次生产都会有，比例有浮动，但都不是很高，最高1％不良。

请教高手朋友，产生此黑点的根源在哪里？你们有没有遇到过类似的情况。

Thanks！