自创电感归纳

yplxh

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谢谢楼主的分享啊

ckhjspchn

抢钱啊，文不对题

本文来自：我爱研发网(52RD.com) - R&D大本营
详细出处：http://52rd.com/bbs/Post.asp?Action=re&BoardID=103&ID=110242&Star=1&Page=1
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名称为“MEMS电感器件”
1.片上螺旋电感的限定因素
MEMS电感器件也可称为微电感器件, 电感在RF电路中扮演着极重要的角色，它对于很多电路设计都非常重要，例如，LNA，VCO，滤波器等，因此本文就RF MEMS中电感的结构作一简要的介绍。随着硅IC技术的发展，使发射系统集成在同一芯片上成为可能。而能否单片集成无线通信系统，高性能的片上电感十分关键。片上平面螺旋电感广泛应用于RFIC中，用来实现调谐和阻抗变换。但是平面电感有很大的衬底损耗，寄生电阻和寄生电容（特别在硅衬底上），结果导致它们的品质因数Q和自振频率很低。近年来随着MEMS技术的发展，提高片上螺旋电感的性能成为可能。近年来这方面的研究主要有：垂直平面螺旋电感，悬浮螺旋电感和线管电感,如图1是其中的一种结构,它在6GHz时Q值的最大值为70，1GHz时电感量为1. 38nH，自谐振频率高于20GHz。值得一提的是，这几种电感都是通过减小衬底损耗，寄生和线圈电阻来改进电感性能的。