45纳米技术的选择

Dawney

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【简　介】:摘要：随着45nm技术的临近，与之对应的一些技术却正被延迟，如用于金属栅的高k介质和3D结构等。而此工业所赖以生存的，用以增强迁移率和驱动电流的应变工程技术如期而至。在互连方面，技术不断发展，但没有彻底的变革，用于衬垫的ALD薄膜技术也姗姗来迟。
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