低階元件漸成熟 MEMS挑戰先進技術

Tiborlee

微機電系統(MEMS)是一項智慧型微小化的系統，包含感測、處理或致動等功能，其中特性是將兩個或兩個以上之電子、機械、光學、化學、生物、磁學或其他性質，並整合到一個單一或多晶片上。其應用領域極為廣泛，除了較為人所知的車輛應用，以及近期頗為熱門的消費性電子與通訊產品外，其他包括製造業、自動化、航太工業、土木營建、環境保護、農林漁牧等，都可以見到微機電系統的蹤影。   
正因為應用環境差異大，適合之技術也迥異，進而影響各廠商之布局策略，同時讓微機電系統戰場風雲密布。   

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