MEMS製程日新月異 感應器巧扮創新火車頭

Tiborlee

近幾年來，感應器已由關鍵元件進一步提升成為產生創新價值的主要元件。產品研發團隊利用感應器創造出革新應用的一波風潮，讓不少媒體甚至以「感應器創新」(Sensor Innovation)來形容這場變革。這類案例實在不勝枚舉，例如早在2005年，蘋果電腦的PowerBook G4就內建加速度感應器元件，讓硬碟在筆記型電腦不當掉落時能夠即時將磁頭移開碟盤以避免撞擊，進而保護內部資料與裝置。其他更知名的案例還有任天堂的Wii遊戲機，其遙控器利用了小型三軸加速度感應器以及CMOS影像感應器，讓消費者可直覺地操作遊戲中的角色，進而大受歡迎。iPhone、iPod Touch以及第四代的iPod Nano等可攜式媒體播放器(圖1)也是活用加速度感應器的好例子。   

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wellgood

终于看到几张MEMS内部图，谢谢！

zhu333

楼主好文，我是做MEMS产品的，学习一下先